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ガス利用技術・機器

ガス利用技術・機器

GUARDIAN® - F型 BW式

説明
東京ガス株式会社、東京ガスケミカル株式会社、小池酸素工業株式会社の3社は、半導体製造工程で使用される温室効果ガス
のPFC(パーフルオロカー ボン)をターゲットとして共同開発に取り組み、PFCを究極まで分解する燃焼式排ガス処理装置"GUARDIAN - F型"の開発に成功しました。
"BW式"は、縦型燃焼器の採用でフットプリントを縮小し、狭小なスペースにも対応しておりますので、従来のPFC未対応の除害装置との置き換えが容易です。また、水冷方式の採用により排気風量を縮小しているので、工場の排気設備の負担を抑えます。

特徴
・高温燃焼可能なバーナーと燃焼室(特許第4987380号)
 PFCガスを99%以上分解する高い分解効率
 安価なランニングコスト
・優れた粉体処理
 スクレーパー採用
 メンテナンス容易
 長いメンテナンスサイクル
・すぐれた腐食対策
 部位に応じた耐熱・耐食材料・コーティング
・上位装置に合わせたマルチポートに対応
 1~3ポート (3ポート以上はご相談ください)

主な用途
半導体・液晶パネル製造のCVD等のプロセスガスの除害

処理対象ガス
C2F6,C3F8,CHF3,NF3,SiH4,SiF4,TEOS,PH3,B2H6,NH3,N2O 等
機種名
GVF-4BW
GVF-6BW
N2含む最大処理量(SLM)※1
200600
燃料LNG流量(SLM)※1
5090
プロセスガス導入口 ※2
NW40×3
NW40×3
筐体寸法
幅 (mm)
1,0501,350
奥行 (mm)
1,0501,200
高さ (mm)
2,0002,200
重量(kg)
7001,000
※1 処理対象ガスの種類によって、変わります。
※2 他のサイズや数にも対応できますので、ご相談ください。
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