高純度ガス
高純度ヘリウムガス
JIMGA高圧ガスハンドブック第3次改訂版引用
| 高純度ヘリウム | |
| 化学式 | He |
| 分子量 | 4.003 |
| 比重（対空気） | 0.13 |
| 密度（0℃、0Pa） | 0.179kg/m3 |
| 沸点 | - 268.00℃ |
| 性質 | 不燃性 |
| 高純度ヘリウムガス | ||||
規格 | 成分基準 | 充填量 | 容器荷姿・口金 | |
高純度 （５Ｎ） | 純度 | ≧99.999% | 14.7MPa | 荷姿：継目無し容器(シームレス容器) 内容積：46.7L 口金：G式(外ねじ)CGA350左ねじ(逆止弁付) |
酸素分 | <1ppm | |||
窒素分 | <3ppm | |||
CO分 | <0.5ppm | |||
CO2分 | <0.5ppm | |||
THC | <0.1ppm | |||
露点 | ≦72℃ | |||
